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如何選擇合適自己的半導體氣體過濾器呢？

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首先呢，你得搞清楚自己要過濾啥氣體。就像做飯得知道食材一樣，半導體工藝里用的氣體可不少，像氫氣、氮氣這些。而且每種氣體的脾氣還不一樣呢。比如氫氣，它愛 “發(fā)火”(易燃易爆)，那選過濾器的時候，材料和密封得特別好，別讓它有機會 “鬧事”;氧氣...

行業(yè)新聞 2024-11-23 11:26:52

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