擴(kuò)散器專用過(guò)濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過(guò)濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對(duì)工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片?？啥ㄖ苹O(shè)計(jì)，靈活適應(yīng)各類安裝空間。

產(chǎn)品特點(diǎn)

?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì)，可快速排氣

?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

?減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝

?100%完整性測(cè)試通過(guò)

?100%氦氣泄露檢測(cè)通過(guò)

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微?；烊?，幫助提高產(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)