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半導(dǎo)體氣體過濾器
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恒歌316L耐腐蝕高溫高純度氣體大Z宗流量過濾純化不銹鋼濾芯

  • BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達(dá)0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案。
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